直拉硅单晶生长过程的缺陷建模及其数值模拟仿真技术

---2016国际大师讲坛

演讲题目：

  Defect Modeling and Simulation for Czochralski Silicon Single Crystal Growth Process

  直拉硅单晶生长过程的缺陷建模及其数值模拟仿真技术

演讲人：FRANCOIS DUPRET教授

演讲人简介：

  Francois Dupret教授是比利时鲁汶大学荣誉教授，国际晶体生长数值模拟领域开拓性学者，著名晶体生长数值模拟软件FEMAG SA研发公司CEO，曾任“晶体生长”期刊（Journal of Crystal Growth，SCI收录期刊）会议论文主编，第二届(IWMCG-2,1997)和第八届(IWMCG-8,2015)国际晶体生长模拟研讨会主席，理论与应用力学国际协会联合主席、流体力学分会主席等；Francois Dupret教授同时也是欧洲材料成型科学协会董事、比利时FNRS研究基金主席团主席；至今出版著作5部，发表期刊论文40余篇，会议论文100余篇，在国际晶体生长及其数值模拟领域享有极高声望。

  本次演讲，Dupret教授将分析直拉硅单晶生长过程的各种点缺陷（point defects）、空洞(microvoid)等缺陷形成机理、数学模型及其在半导体直拉硅晶体生长工艺中的模拟仿真应用。

  真诚欢迎您的参加！

  地点：上海大学延长校区金属楼会议室

  时间：2016年5月17日 上午10:00 — 11:30

  主办单位：上海大学国际事务处

  承办单位：上海大学材料科学与工程学院